一、日保养

1） 每班需将清洗槽的清洗液循环过滤一次，时间约20分钟；

2） 每班需更换漂洗液箱的水并清洗液箱内部；

3） 对清洗、漂洗槽体喷杆进行检查，确保喷嘴没有堵住。

二、月保养

1） 包含日保养及周保养的全部内容，且要求更加彻底；

2） 在各液体箱加满DI水，开启喷淋1-2小时后排掉废液，然后再加满DI水喷淋30分钟后排掉；

3） 对所有温度控制的精确度进行全面检查

4） 依据清洗治具情况及工艺要求，每月对所有的滤芯更换；

注意事项：设备保养时必须分段分类进行保养，零部件不得随意调换位置、段落使用，防止引起传动故障、零件损坏等事故发生；